Эмне үчүн UHP газ жеткирүү системалары ушунчалык маанилүү?
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө — гравюралоо, CVD, ион имплантациясы жана литография сыяктуу процесстерде — процесстик газдар өтө жогорку тазалыкта болушу керек, адатта 99,99999% (6N) же ал тургай 99,999999% (7N). Ал тургай ppb (миллиарддагы бөлүк) же ppt (триллиондогу бөлүк) деңгээлиндеги — мисалы, нымдуулук же кычкылтек сыяктуу издик булгоочу заттар да — дарбаза кычкылынын жукарышы, металл боштуктары же пластиналардагы кыска туташуулар сыяктуу өлүмгө алып келүүчү кемчиликтерге алып келиши мүмкүн, бул бүтүндөй партияларды жок кылышы мүмкүн.
Ошондуктан, UHP газ жеткирүү системасынын миссиясы - газдарды булактан технологиялык шайманга тазалыгынын бузулушуна жол бербестен ташуу, ар бир жерде булгануунун жана агып кетүүнүн алдын алуу.
Эмне үчүн EP түтүктөрү UHP системаларынын негизине айланат?
EP (электропролировкаланган) түтүк электрохимиялык жылтыратуу процессинен өткөн дат баспас болоттон жасалган, натыйжада күзгү сымал ички бет пайда болот. Бул аны UHP газын бөлүштүрүү үчүн алмаштыргыс "артерияга" айлантат.
Эң жогорку тазалык – булактан алдын алуу
EP иштетүү ички беттин оройлугун (Ra) 0,13 мкм – 0,25 мкм же андан да төмөн түшүрөт. Бул өтө жылмакай жасалга микроскопиялык жаракаларды жана адсорбциялык жерлерди жок кылат, бөлүкчөлөрдүн, металл иондорунун же нымдуулуктун жабышып калышына орун калтырбайт.
Коррозияга туруктуулугун жогорулатуу – тазалыкты сактоо
Электро жылмалоо этабы беттик кирлерди кетирип, хром-оксидге бай пассивдүү катмарды түзөт, бул Cl₂, CF₄ жана HCl сыяктуу коррозиялык газдарга туруктуулукту бир кыйла жакшыртат. Бул түтүктөрдүн дубалдарынын бөлүкчөлөрдүн же газдын булганышынын пайда болушуна алып келүүчү дат басышынын алдын алат.
Агымдын натыйжалуулугун жогорулатуу жана тезирээк тазалоо
Жылмакай ички дубал агымдын каршылыгын азайтат жана системаны тазалоону жана газды алмаштырууну тездетет. Газды тез алмаштырууну талап кылган процесстерде бул цикл убактысын кыскартат жана фабриканын өткөрүү жөндөмдүүлүгүн жогорулатат.
Жогорку сапаттагы материал – "Таажы" стандарты
Жогорку сапаттагы EP түтүктөрү 316L VIM-VAR (вакуумдук индукциялык эритүү + вакуумдук дого кайра эритүү) дат баспас болоттон жасалган. Бул кош эритүү процесси негизги металлдын өтө тазалыгын камсыз кылат, бул EPтин эң жогорку иштешине жетүү үчүн негизги шарт болуп саналат.
Негизги колдонуу сценарийлери
•
Негизги процесстер– Гравюралоо, жүрөк-кан тамыр ооруларын дарылоо, иондук имплантация жана литография үчүн жогорку тазалыктагы реактивдүү газдарды жеткирүү.
•
Атайын газдар– SiH₄, PH₃, Cl₂ жана BCl₃ сыяктуу тез күйүүчү, уулуу же коррозияга дуушар болуучу газдарды коопсуз колдонуу. Өтө кооптуу газдар үчүн көп учурда кош камтуучу EP түтүктөрү колдонулат (газ үчүн ички түтүк, агып кетүүсүн көзөмөлдөө үчүн сырткы кабык азот менен бошотулган же тазалануучу).
•
Маанилүү жабдыктар– Газ бөлүштүрүүчү панелдерде (ГБП), газ шкафтарында жана өтө таза ички беттер милдеттүү болгон технологиялык шаймандардын туташтыргычтарында колдонулат.
Түтүктөн тышкары: Толук UHP системасы үчүн башка зарыл нерселер
Толук бүтүндүктү камсыз кылуу үчүн система төмөнкүлөрдү камтышы керек:
•
Толугу менен автоматтык орбиталык ширетүү– ISO 5-класстагы (100-класс) же андан жогору таза бөлмөлөрдө аткарылат, кол менен ширетүүдөгү айырмачылыктарды жана булгануу коркунучтарын жок кылат.
•
Толугу менен металлдан жасалган беттик пломбалоочу фитингдер– Мисалы, VCR® же W-Seal түрлөрү, алар агып кетпеши үчүн металл прокладкаларды колдонушат.
•
Катуу тазалоо жана таңгактоо– EP түтүктөрү, адатта, жогорку тазалыктагы суу менен тазаланат, кургатылып, азот менен тазаланат, андан кийин орнотулганга чейин "жөнөтүлгөндөгү" тазалыгын сактоо үчүн таза бөлмө таңгагына эки жолу салынат.
EP түтүктөрү жөн гана түтүк эмес — бул жарым өткөргүч газ жеткирүүдөгү биринчи коргонуу линиясы. Анын өтө жылмакай бети, жогорку коррозияга туруктуулугу жана жогорку сапаттагы материалынын тазалыгы пластинанын чыгышына, түзмөктүн ишенимдүүлүгүнө жана жалпы заводдун кирешелүүлүгүнө түздөн-түз таасир этет. 5 нмден төмөн түйүндөр жана барган сайын катаал кемчиликтердин бюджети дүйнөсүндө EP түтүктөрү милдеттүү эмес — ал негизги нерсе.
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 5-августу