1. Жашыл газ системасынын аныктамасы:
Инерттүү газдарды сактоо жана басымды көзөмөлдөө Газдын түрлөрү: типтүү инерттүү газдар (азот, аргон, кысылган аба ж.б.)
Түтүктүн көлөмү: 1/4төн (мониторинг түтүгү) 12 дюймдук магистралдык түтүккө чейин
Системанын негизги продуктылары: диафрагмалуу клапан/көрүктүү клапан/шар клапан, жогорку тазалыктагы коннектор (видеомагнитофон, ширетүү формасы), феррул туташтыргычы, басымды жөнгө салуучу клапан, манометр ж.б.
Азыркы учурда, жаңы система ошондой эле сактоо жана ташуу үчүн туруктуу газ баллондорду же автоцистерналарды колдонгон жапырт атайын газ системасын камтыйт.
2. Тазалоо тутумунун аныктамасы:
Жогорку тазалыктагы газ түтүктөрү үчүн суюк газдардан кошулмаларды алып салуу
3. Газ шкафтарынын аныктамасы:
Атайын газ булактары (уулуу, күйүүчү, реактивдүү, жегич газдар) үчүн басымды көзөмөлдөө жана агымын көзөмөлдөөнү камсыз кылуу жана газ баллондорун алмаштыруу мүмкүнчүлүгүнө ээ.
Жайгашкан жери: Суб-фаб кабатында же атайын газдарды сактоо үчүн төмөнкү кабатта жайгашкан Булак: NF3, SF6, WF6 ж.б.
Түтүктүн көлөмү: Ички газ түтүгү, негизинен процесстик куур үчүн 1/4 дюйм, 1/4-3/8 дюйм негизинен жогорку тазалыктагы азот тазалоочу түтүк үчүн.
Негизги продуктылар: Жогорку тазалыктагы диафрагма клапандар, текшерүү клапандары, манометрлер, манометрлер, жогорку тазалыктагы бириктиргичтер (VCR, ширетүү формасы) Бул газ шкафтары, негизинен, үзгүлтүксүз газ менен камсыз кылууну жана цилиндрлерди коопсуз алмаштырууну камсыз кылуу үчүн цилиндрлер үчүн автоматтык которуу мүмкүнчүлүктөрүн камтыйт.
4. Бөлүштүрүү аныктамасы:
Газ булагын газ чогултуучу катушкага туташтыруу
Линиянын өлчөмү: Чип фабрикасында газды бөлүштүрүүчү түтүктүн көлөмү жалпысынан 1/2 дюймдан 2 дюймга чейин жетет.
Туташуу түрү: Атайын газ түтүктөрү негизинен ширетүүчү туташтыргычтын бекем мөөр ишенимдүүлүгүнө ээ болгондуктан, негизинен, эч кандай механикалык байланышсыз же башка кыймылдуу бөлүктөрү жок ширетүүчү жолу менен туташтырылган.
Чип чыгаруучу заводдо газ өткөрүү үчүн туташтырылган жүздөгөн километр түтүк бар, алардын узундугу 20 фут жана бири-бирине ширетилген. Кээ бир түтүктөр ийилген жана түтүктүү ширетүүчү байланыштар да абдан кеңири таралган.
5. Көп функциялуу клапан кутусу (Valve Manifold Box, VMB) Аныктоо:
Бул газ булагынан атайын газдарды ар кандай жабдуулардын учтарына бөлүштүрүү.
Ички түтүктүн көлөмү: 1/4 дюймдук процесс түтүгү жана 1/4 - 3/8 дюймдук тазалоочу түтүк. Система иштетилген клапандарды талап кылуу үчүн компьютердик башкарууну колдонушу мүмкүн же кол клапандар менен арзаныраак чыгымдарды талап кылат.
Системалык продуктылар: жогорку тазалыктагы диафрагмалык клапандар/көрүктүү клапандар, текшерүү клапандары, жогорку тазалыктагы кошулмалар (VCR, микро ширетүүчү форма), басымды жөнгө салуучу клапандар, манометрлер жана манометрлер, ж.б. Кээ бир инерттүү газдарды бөлүштүрүү үчүн, Valve Manifold Panel - VMP (көп функциялуу клапан диски) негизинен ачык газ дискинин бетине ээ жана жабык мейкиндик дизайнын жана кошумча азотту талап кылбаган колдонулат. тазалоо.
6. Экинчи клапан пластина/куту (Инструментти кошуу панели) Аныктоо:
Жарым өткөргүч жабдууларга керектүү газды газ булагынан жабдуунун аягына туташтырыңыз жана тиешелүү басымды жөнгө салыңыз. Бул панель VMB (көп функциялуу клапан кутусу) караганда жабдуулардын аягына жакыныраак болгон газды башкаруу системасы.
Газ куурунун өлчөмү: 1/4 - 3/8 дюйм
Суюктук куурунун өлчөмү: 1/2 - 1 дюйм
Агызуучу түтүктүн өлчөмү: 1/2 - 1 дюйм
Негизги продукциялары: диафрагмалуу клапан/көлөкөлүү клапан, бир тараптуу клапан, басымды жөнгө салуучу клапан, манометр, манометр, жогорку тазалыктагы муун (видеомагнитофон, микро-ширетүү), феррулдуу муун, шар клапан, шланг ж.б.
Посттун убактысы: Ноябр-22-2024