909 долбоору абдан ири масштабдагы интегралдык микросхемалардын заводу тогузунчу беш жылдыкта линиясынын туурасы 0,18 микрон жана диаметри 200 мм болгон микросхемаларды чыгаруу боюнча менин елкемдун электроника енер жайынын негизги курулушу болуп саналат.
Өтө чоң масштабдагы интегралдык микросхемалардын өндүрүш технологиясы микро иштетүү сыяктуу жогорку тактыктагы технологияларды гана камтыбастан, газдын тазалыгына да жогорку талаптарды коёт.
Долбоор 909 үчүн жапырт газ менен камсыз кылуу Кошмо Штаттардын Praxair Utility Gas Co., Ltd. жана Шанхайдагы тиешелүү тараптардын ортосундагы биргелешкен ишкана тарабынан газ өндүрүүчү заводду биргелешип түзүү үчүн камсыздалат. Газ өндүрүүчү завод 909 долбоор фабрикасына жанаша жайгашкан. имарат, болжол менен 15000 чарчы метр аянтты ээлейт. Ар кандай газдардын тазалыгы жана чыгуу талаптары
Жогорку тазалыктагы азот (PN2), азот (N2) жана жогорку тазалыктагы кычкылтек (PO2) аба бөлүү жолу менен өндүрүлөт. Жогорку тазалыктагы суутек (PH2) электролиз аркылуу алынат. Аргон (Ар) жана гелий (Ал) аутсорсингге сатылып алынат. Квазигаз 909-долбоордо колдонуу үчүн тазаланат жана чыпкаланат. Атайын газ бөтөлкөлөр менен берилет, ал эми газ бөтөлкөлөрүнүн шкафы интегралдык микросхемаларды чыгаруучу цехтин көмөкчү цехинде жайгашкан.
Башка газдар, ошондой эле таза кургак кысылган аба CDA системасын камтыйт, пайдалануу көлөмү 4185m3 / ч, басым шүүдүрүм чекити -70 ° C, жана пайдалануу чекитинде газдын бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү 0,01um ашпаган. Дем алуу кысылган аба (БА) системасы, пайдалануу көлөмү 90м3/саат, басым шүүдүрүм чекити 2℃, пайдалануу жеринде газдын бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү 0,3um көп эмес, технологиялык вакуум (PV) системасы, пайдалануу көлөмү 582м3/саат, вакуумдук даража -79993Па. Тазалоочу вакуум (HV) системасы, колдонуу көлөмү 1440м3/саат, колдонуу чекитиндеги вакуум даражасы -59995 Па. Аба компрессордук бөлмөсү жана вакуумдук насос бөлмөсү экөө тең 909 долбоордун фабрикасынын аймагында жайгашкан.
Түтүк материалдарды жана аксессуарларды тандоо
VLSI өндүрүшүндө колдонулган газ өтө жогорку тазалык талаптарга ээ.Жогорку тазалыктагы газ проводдоруАдатта таза өндүрүш чөйрөлөрүндө колдонулат жана алардын тазалыгын көзөмөлдөө колдонулуп жаткан мейкиндиктин тазалык деңгээлине шайкеш же андан жогору болушу керек! Мындан тышкары, жогорку тазалыктагы газ түтүктөрү көбүнчө таза өндүрүш чөйрөлөрүндө колдонулат. Таза суутек (PH2), жогорку таза кычкылтек (PO2) жана кээ бир атайын газдар күйүүчү, жарылуучу, күйүүнү колдоочу же уулуу газдар болуп саналат. Газ түтүк системасы туура эмес долбоорлонсо же материалдар туура эмес тандалса, газ пунктунда колдонулган газдын тазалыгы гана төмөндөп тим болбостон, ал да иштебей калат. Бул процесстин талаптарына жооп берет, бирок аны колдонуу кооптуу жана таза фабриканын булганышына алып келет, таза фабриканын коопсуздугуна жана тазалыгына таасир этет.
Пайдалануу пунктунда жогорку тазалыктагы газдын сапатынын кепилдиги газды өндүрүүнүн, тазалоочу жабдуулардын жана фильтрлердин тактыгына гана көз каранды болбостон, ошондой эле түтүк тутумундагы көптөгөн факторлордон да көп деңгээлде таасир этет. Эгерде биз газ өндүрүүчү жабдууларга, тазалоочу жабдууларга жана фильтрлерге таянсак, газ түтүк системасынын туура эмес дизайнын же материалды тандоонун ордун толтуруу үчүн чексиз жогорку тактык талаптарын коюу туура эмес.
909 долбоорун иштеп чыгуу процессинде биз GBJ73-84 "Таза өсүмдүктөрдү долбоорлоо кодекси" (азыркы стандарт (GB50073-2001)), "Кысылган аба станцияларын долбоорлоо кодекси" GBJ29-90, "Код" кычкылтек станцияларын долбоорлоо үчүн» GB50030-91 , «Суутек жана кычкылтек станцияларын долбоорлоо кодекси» GB50177-93, ошондой эле түтүк материалдарын жана кошумча жабдууларды тандоо боюнча тиешелүү техникалык чаралар. "Таза өсүмдүктөрдү долбоорлоо кодекси" трубопровод материалдарын жана клапандарды тандоону төмөнкүдөй караштырат:
(1) Эгерде газдын тазалыгы 99,999% ашса же ага барабар болсо жана шүүдүрүм температурасы -76°Cден төмөн болсо, 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүк (316L), ички дубалы электр менен жылтыратылган же OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүк (304) менен электр менен жылтыратылган ички дубалды колдонуу керек. Клапан диафрагмалуу клапан же көгүчкөн клапан болушу керек.
(2) Эгерде газдын тазалыгы 99,99%дан жогору же ага барабар болсо жана шүүдүрүмдүүлүк чекити -60°Cден төмөн болсо, ички дубалы электр менен жылтыратылган OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүк (304) колдонулушу керек. Күйүүчү газ өткөргүчтөрү үчүн колдонулуучу көлөкөлүү клапандардан башкасы, башка газ өткөргүчтөр үчүн шар клапандары колдонулушу керек.
(3) Эгерде кургак кысылган абанын шүүдүрүм чекити -70°Сден төмөн болсо, ички дубалы жылмаланган OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүк (304) колдонулушу керек. Эгерде шүүдүрүм чекити -40℃ төмөн болсо, OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүк (304) же ысык цинктелген тиксиз болот түтүк колдонулушу керек. Клапан көгүчкөн клапан же шар клапан болушу керек.
(4) Клапан материалы туташтыруучу түтүк материалы менен шайкеш келиши керек.
Техникалык шарттардын талаптарына жана тиешелүү техникалык чараларга ылайык, биз түтүк өткөргүч материалдарын тандоодо негизинен төмөнкү аспектилерди эске алабыз:
(1) түтүк материалдардын аба өткөрүмдүүлүк аз болушу керек. Ар кандай материалдардан жасалган түтүктөр ар кандай аба өткөрүмдүүлүккө ээ. Эгерде аба өткөргүчтүгү жогору болгон түтүктөр тандалса, булганууну алып салуу мүмкүн эмес. Дат баспас болоттон жасалган түтүктөр жана жез түтүктөр атмосферага кычкылтектин киришин жана коррозиясын алдын алууда жакшыраак. Бирок, дат баспас болоттон жасалган түтүктөр жез түтүктөргө караганда азыраак активдүү болгондуктан, жез түтүктөр атмосферадагы нымдуулуктун алардын ички беттерине өтүшүн камсыз кылууда активдүү. Ошондуктан, жогорку тазалыктагы газ түтүктөрү үчүн түтүктөрдү тандоодо, дат баспас болоттон жасалган түтүктөр биринчи тандоо болушу керек.
(2) Түтүк материалынын ички бети адсорбцияланган жана газды талдоодо бир аз таасир этет. Дат баспас болоттон жасалган түтүк иштетилгенден кийин, анын металл торунда белгилүү бир өлчөмдө газ сакталып калат. Жогорку тазалыктагы газ өткөндө газдын бул бөлүгү аба агымына кирип, булганууну пайда кылат. Ошол эле учурда, адсорбция жана анализдин натыйжасында, түтүктүн ички бетиндеги металл да белгилүү бир өлчөмдө порошок чыгарып, жогорку тазалыктагы газды булгайт. Тазалыгы 99,999% же ppb деңгээлинен жогору болгон түтүк тутумдары үчүн 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүк (316L) колдонулушу керек.
(3) Дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдүн эскирүү туруктуулугу жез түтүктөрүнө караганда жакшыраак жана аба агымынын эрозиясынан пайда болгон металл чаңы салыштырмалуу азыраак. Тазалык талаптары жогору болгон өндүрүш цехтери 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдү (316L) же OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдү (304) колдонсо болот, жез түтүктөрдү колдонууга болбойт.
(4) Газдын тазалыгы 99,999% же ppb же ppt денгээлинен жогору болгон түтүк тутумдары үчүн, же "Таза заводдун долбоорлоо кодексинде" көрсөтүлгөн абанын тазалыгы N1-N6 болгон таза бөлмөлөр үчүн, өтө таза түтүктөр жеEP өтө таза түтүктөрколдонулушу керек. "Ички бети өтө жылмакай болгон таза түтүктү" тазалаңыз.
(5) Өндүрүш процессинде колдонулган атайын газ түтүк системаларынын кээ бирлери өтө коррозиялуу газдар болуп саналат. Бул түтүк системаларындагы түтүктөр түтүк катары коррозияга туруктуу дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдү колдонушу керек. Болбосо, трубалар коррозиядан улам бузулат. Эгерде бетинде коррозия тактары пайда болсо, анда кадимки тигишсиз болот түтүктөрдү же цинктелген ширетилген болот түтүктөрдү колдонууга болбойт.
(6) Негизинен бардык газ түтүктөрүнүн байланыштары ширетилиши керек. Гальванизацияланган болот түтүктөрдү ширетүү цинктелген катмарды жок кыла тургандыктан, таза бөлмөлөрдө түтүктөр үчүн цинктелген болот түтүктөр колдонулбайт.
Жогорудагы факторлорду эске алуу менен, &7& долбоорунда тандалган газ түтүктөрү жана клапандары төмөнкүдөй:
Жогорку тазалыктагы азот (PN2) тутумунун түтүктөрү 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылтыратылган, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандардан жасалган.
Азот (N2) тутумунун түтүктөрү 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылтыратылган, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандардан жасалган.
Жогорку таза суутек (PH2) тутумунун түтүктөрү 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылтыратылган, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандардан жасалган.
Жогорку тазалыктагы кычкылтек (PO2) тутумунун түтүктөрү 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылмаланган, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандардан жасалган.
Аргон (Ar) тутумунун түтүктөрү 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылтыратылган жана ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандар колдонулат.
Гелий (He) тутумунун түтүктөрү 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылтыратылган, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандардан жасалган.
Таза кургак кысылган аба (CDA) тутумунун түтүктөрү ички дубалдары жылмаланган OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (304), ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көгүчкөн клапандардан жасалган.
Дем алуучу кысылган аба (БА) тутумунун түтүктөрү ички дубалдары жылмаланган OCr18Ni9 дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (304), ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган шар клапандардан жасалган.
Технологиялык вакуум (PV) тутумунун түтүктөрү UPVC түтүктөрүнөн, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган вакуумдук көпөлөктүү клапандардан жасалган.
Тазалоочу вакуум (HV) тутумунун түтүктөрү UPVC түтүктөрүнөн, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган вакуумдук көпөлөктүү клапандардан жасалган.
Атайын газ тутумунун түтүктөрүнүн баары 00Cr17Ni12Mo2Ti аз көмүртектүү дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдөн (316L) ички дубалдары электр менен жылтыратылган, ал эми клапандар ошол эле материалдан жасалган дат баспас болоттон жасалган көлөкөлүү клапандардан жасалган.
3 Трубопроводдорду куруу жана монтаждоо
3.1 "Таза заводдун имаратын долбоорлоо кодексинин" 8.3 бөлүмүндө түтүктөрдү туташтыруу үчүн төмөнкү жоболор каралган:
(1) Түтүк туташтыргычтары ширетилген болушу керек, бирок ысык цинктелген болот түтүктөр бурмалуу болушу керек. Сайлуу кошулмалардын пломбалоочу материалы ушул спецификациянын 8.3.3-беренесинин талаптарына жооп бериши керек.
(2) Дат баспас болоттон жасалган түтүктөр аргон догасы менен ширетүү жана розетка менен ширетүү жолу менен туташтырылууга тийиш, ал эми жогорку тазалыктагы газ түтүктөрүн ички дубалда белгилери жок тактай ширетүү жолу менен туташтыруу керек.
(3) Түтүк өткөргүчтөр менен жабдуулардын ортосундагы байланыш жабдуулардын туташуу талаптарына жооп бериши керек.
(4) Түтүк өткөргүчтөр менен клапандардын ортосундагы байланыш төмөнкү эрежелерге ылайык келиши керек
① Жогорку тазалыктагы газ түтүктөрүн жана клапандарды бириктирүүчү пломбалоочу материал өндүрүш процессинин талаптарына жана газдын мүнөздөмөлөрүнө ылайык металл прокладкаларды же кош феррулдарды колдонууга тийиш.
②Жиптүү же фланецтик туташтыргычтагы пломбалоочу материал политетрафторэтилен болушу керек.
3.2 Техникалык шарттардын талаптарына жана тиешелүү техникалык чараларга ылайык, жогорку тазалыктагы газ түтүктөрүн туташтыруу мүмкүн болушунча ширетүү керек. Ширетүү учурунда түздөн-түз куйма ширетүүдөн качуу керек. Түтүктүн жеңдери же даяр кошулмалар колдонулушу керек. Түтүктүн гильзалары түтүктөр сыяктуу эле материалдан жана ички бетинин жылмакайлыгы менен жасалышы керек. деңгээл, ширетүү учурунда, ширетүүчү бөлүгүнүн кычкылданышын алдын алуу үчүн, ширетүүчү түтүккө таза коргоочу газ киргизилиши керек. Дат баспас болоттон жасалган түтүктөр үчүн аргон догасы менен ширетүүнү колдонуу керек жана түтүккө бирдей тазалыктагы аргон газын киргизүү керек. Жиптүү туташтыруу же сай байланышты колдонуу керек. Фланецтерди туташтырууда винттүү байланыштар үчүн феррулдарды колдонуу керек. Металл прокладкаларды колдонуу керек кычкылтек түтүктөрүнөн жана суутек түтүктөрүнөн тышкары, башка түтүктөр политетрафторэтилен прокладкаларын колдонууга тийиш. Прокладкаларга аз өлчөмдө силикон каучук колдонуу да натыйжалуу болот. Мөөрлөштүрүүчү эффектти күчөтүү. Ушундай эле чараларды фланецтик байланыштарды жасоодо да көрүү керек.
Монтаждоо иштери башталганга чейин түтүктөрдү деталдуу визуалдык текшерүү,арматуралар, клапандар жана башкалар аткарылышы керек. Жөнөкөй дат баспас болоттон жасалган түтүктөрдүн ички дубалы орнотуудан мурун туздалган болушу керек. Кычкылтек түтүктөрүнүн түтүктөрүнө, арматураларына, клапандарына ж.б.у.с. майга катуу тыюу салынып, орнотуудан мурун тиешелүү талаптарга ылайык катуу майсыздандыруу керек.
Система орнотулуп, пайдаланууга берилгенге чейин өткөргүч жана бөлүштүрүүчү түтүк системасы жеткирилген жогорку таза газ менен толук тазаланышы керек. Бул орнотуу процессинде системага кокусунан түшүп калган чаң бөлүкчөлөрүн учуруп гана тим болбостон, түтүк тутумунда кургатуу ролун ойноп, түтүк дубалы сиңирүүчү ным камтыган газдын бир бөлүгүн, ал тургай түтүк материалын да жок кылат.
4. Түтүктөрдүн басымын сыноо жана кабыл алуу
(1) Система орнотулгандан кийин атайын газ өткөргүчтөрүндө өтө уулуу суюктуктарды ташуучу түтүктөр 100% радиографиялык текшерүүдөн өткөрүлөт жана алардын сапаты II деңгээлден төмөн болбошу керек. Башка түтүктөр үлгүлөрдү алуу менен радиографиялык текшерүүдөн өтүүгө тийиш, ал эми үлгүлөрдү алуу боюнча текшерүүнүн коэффициенти 5 % дан кем болбоого тийиш, сапаты III даражадан төмөн болбоого тийиш.
(2) Кыйратылбаган текшерүүдөн өткөндөн кийин басым сыноосу жүргүзүлүшү керек. Түтүк тутумунун кургактыгын жана тазалыгын камсыз кылуу үчүн гидравликалык басым сыноосу жүргүзүлбөшү керек, бирок пневматикалык басым сыноосу колдонулушу керек. Абанын басымын текшерүү таза бөлмөнүн тазалык деңгээлине дал келген азот же кысылган абаны колдонуу менен жүргүзүлүшү керек. Түтүк өткөргүчтүн сыноо басымы долбоордук басымдан 1,15 эсе, ал эми вакуумдук түтүктүн сыноо басымы 0,2МПа болушу керек. Сыноо учурунда басымды акырындап жана акырындап жогорулатуу керек. Басым сыноо басымынын 50% га чейин көтөрүлгөндө, нормадан бузулуу же агып кетүү табылбаса, басымды сыноо басымынын 10% га кадам сайын жогорулатууну улантыңыз жана сыноо басымы жеткенге чейин ар бир деңгээлде 3 мүнөткө басымды турукташтырыңыз. . Басымды 10 мүнөткө турукташтырыңыз, андан кийин басымды долбоордук басымга чейин азайтыңыз. басым токтотуу убактысы агып аныктоо муктаждыктарына ылайык аныкталышы керек. Эгерде агып чыкпаса, көбүктөнгөн агент квалификациялуу.
(3) Вакуум системасы басым сыноодон өткөндөн кийин, ал ошондой эле долбоорлоо документтерине ылайык 24 сааттык вакуум даражасын сыноону жүргүзүү керек, ал эми басымдын ылдамдыгы 5% дан жогору болбошу керек.
(4) агып чыгуу сыноо. ppb жана ppt классындагы түтүк тутумдары үчүн, тиешелүү спецификацияларга ылайык, эч кандай агып чыгуу квалификациялуу деп эсептелбеши керек, бирок агып кетүүнүн көлөмүн текшерүү долбоорлоо учурунда колдонулат, башкача айтканда, агып кетүүнүн көлөмүн текшерүү аба өткөргүчтүк сыноодон кийин жүргүзүлөт. басым жумушчу басым болуп саналат, ал эми басым 24 саат бою токтоп турат. Орточо сааттык агып чыгуу квалификациялуу 50ppm аз же барабар. агып чыгууну эсептөө төмөнкүдөй:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Формулада:
сааттык агып кетүү (%)
P1-Сыноонун башталышындагы абсолюттук басым (Па)
P2-Сыноонун аягындагы абсолюттук басым (Па)
T1 - сыноонун башталышындагы абсолюттук температура (К)
T2 - сыноонун аягындагы абсолюттук температура (К)
Посттун убактысы: 2023-жылдын 12-декабрына чейин